Convient au capteur de pression d'huile Hitachi KM11 EX200-2-3-5

Quatre technologies de pression du capteur de pression

1. Capacitif

Les capteurs de pression capacitifs sont généralement privilégiés par un grand nombre d'applications professionnelles OEM. La détection des changements de capacité entre deux surfaces permet à ces capteurs de détecter des niveaux de pression et de vide extrêmement faibles. Dans notre configuration typique de capteur, un boîtier compact se compose de deux surfaces métalliques étroitement espacées, parallèles et électriquement isolées, dont l'une est essentiellement un diaphragme qui peut se plier légèrement sous la pression. Ces surfaces (ou plaques) fermement fixées sont montées de manière à ce que la flexion de l'ensemble modifie l'espace entre elles (formant en fait un condensateur variable). Le changement résultant est détecté par un circuit comparateur linéaire sensible avec (ou ASIC), qui amplifie et émet un signal proportionnel de haut niveau.

2.Type CVD

La méthode de fabrication par dépôt chimique en phase vapeur (ou « CVD ») lie la couche de polysilicium au diaphragme en acier inoxydable au niveau moléculaire, produisant ainsi un capteur avec d'excellentes performances de dérive à long terme. Des méthodes courantes de fabrication de semi-conducteurs par traitement par lots sont utilisées pour créer des ponts de jauges de contrainte en polysilicium offrant d'excellentes performances à un prix très raisonnable. La structure CVD présente d'excellentes performances en termes de coût et constitue le capteur le plus populaire dans les applications OEM.

3. Type de film de pulvérisation

Le dépôt de film par pulvérisation cathodique (ou « film ») peut créer un capteur avec une linéarité, une hystérésis et une répétabilité combinées maximales. La précision peut atteindre 0,08 % de la pleine échelle, tandis que la dérive à long terme est aussi faible que 0,06 % de la pleine échelle chaque année. Performances extraordinaires des instruments clés : notre capteur à couche mince pulvérisée est un trésor dans l'industrie de la détection de pression.

4.Type MMS

Ces capteurs utilisent un diaphragme en silicium micro-usiné (MMS) pour détecter les changements de pression. Le diaphragme en silicium est isolé du fluide par le 316SS rempli d'huile et réagit en série avec la pression du fluide de procédé. Le capteur MMS adopte une technologie de fabrication de semi-conducteurs commune, qui peut atteindre une résistance à haute tension, une bonne linéarité, d'excellentes performances de choc thermique et une stabilité dans un boîtier de capteur compact.