Le capteur de pression d'excavatrice est le capteur le plus largement utilisé, c'est un terme général pour détecter les gaz, les liquides, les solides et d'autres substances entre l'énergie de la force inductive, comprend également
Manomètres qui mesurent la pression de l'air au-dessus et vacuomètres qui mesurent la pression de l'air en dessous. Il existe de nombreux types de capteurs de force, la méthode de mesure traditionnelle consiste à appliquer la déformation et le déplacement d'éléments élastiques pour exprimer la maintenance du moteur à injection électrique, mais son volume est grand, maladroit et la sortie n'est pas linéaire. Avec la croissance des compétences en microélectronique, l'application de matériaux semi-conducteurs à effet piézorésistif et à élasticité supérieure, le développement de capteurs de force à semi-conducteurs, deux importants piézorésistifs et capacitifs en silicium, ils ont des avantages de petite taille, de poids léger et de sensibilité élevée, sont largement utilisés dans la force des semi-conducteurs capteurs. Lorsqu’un semi-conducteur est soumis à une contrainte ascendante sur un cristal, sa résistivité change. La relation entre le changement de résistivité du conducteur et la contrainte est appelée effet piézorésistif du semi-conducteur, et le capteur de quantité mécanique constitué de cet effet est appelé capteur de force piézorésistif, qui a deux types, l'un est le capteur constitué de la jauge de contrainte semi-conductrice collée sur le élément élastique, appelé capteur piézorésistif collé. L'autre est la résistance de diffusion réalisée en technologie de circuit intégré sur le substrat en matériau semi-conducteur, de sorte que la jauge de contrainte et le substrat en silicium forment le même capteur entier, appelé capteur piézorésistif à diffusion. Il présente les caractéristiques d'une sensibilité élevée, d'une haute précision, d'une petite taille, d'un poids léger, d'une fréquence de travail élevée, d'une structure simple, d'un travail fiable et d'une longue durée de vie.