Le capteur de pression à semi-conducteur couramment utilisé utilise une plaquette de silicium de type N comme substrat.Tout d'abord, la plaquette de silicium est transformée en une pièce élastique porteuse de contraintes avec une certaine géométrie.Au niveau de la partie soumise aux contraintes de la plaquette de silicium, quatre résistances de diffusion de type P sont réalisées dans différentes directions cristallines, puis un pont de Wheatstone à quatre bras est formé avec ces quatre résistances.Sous l’action d’une force extérieure, les changements de valeurs de résistance deviennent des signaux électriques.Ce pont de Wheatstone à effet de pression constitue le cœur du capteur de pression, généralement appelé pont piézorésistif (comme le montre la figure 1).Les caractéristiques du pont piézorésistif sont les suivantes : ① les valeurs de résistance des quatre bras du pont sont égales (toutes r0) ;② L'effet piézorésistif des bras adjacents du pont est égal en valeur et opposé en signe ;③ Le coefficient de température de résistance des quatre bras du pont est le même et ils sont toujours à la même température.En figue.1, R0 est la valeur de résistance sans contrainte à température ambiante ;RT est le changement provoqué par le coefficient de température de résistance (α) lorsque la température change ;Υ Rδ est le changement de résistance provoqué par la déformation (ε) ;La tension de sortie du pont est u = I0 Δ Rδ = I0RGδ (pont source de courant constant).

Où I0 est le courant de la source de courant constant et e est la tension de la source de tension constante.La tension de sortie du pont piézorésistif est directement proportionnelle à la déformation (ε) et n'a rien à voir avec la RT provoquée par le coefficient de résistance thermique, ce qui réduit considérablement la dérive en température du capteur.Le capteur de pression à semi-conducteur le plus largement utilisé est un capteur permettant de détecter la pression d'un fluide.Sa structure principale est une capsule en silicium monocristallin (comme le montre la figure 2).Le diaphragme est transformé en coupelle, et le fond de la coupelle est la partie qui supporte la force externe, et le pont de pression est réalisé au fond de la coupelle.Le socle annulaire est constitué du même matériau monocristallin de silicium, puis le diaphragme est collé au socle.Ce type de capteur de pression présente les avantages d'une sensibilité élevée, d'un petit volume et d'une solidité, et a été largement utilisé dans l'aviation, la navigation spatiale, les instruments d'automatisation et les instruments médicaux.